特點：
1、可更換清洗吸盤，可使用4-12英寸的清洗吸盤；
2、操作程序可按作業需求編寫調整，設備運行流程、清洗時間及各項參數可自行編制；
3、設備運行狀態及參數在線實時監控，自動門配有安全光柵，保證操作安全；
4、采用真空吸附式清洗盤，晶元夾具的取放更安全、方便；
5、擺臂式清洗，清洗范圍可編制，適用范圍廣、無清洗盲區、無二次污染，清洗效果更佳；
6、設備清洗室全密封，且配有自動擋水圈，有效防止二次污染；
7、高速離心設計，轉速可調節100-2000R/Min；
8、配備獨特的靜電消除裝置，輔助清洗達到最佳效果，可選擇使用氮氣；
9、設備配有大面積透明觀察窗；
10、縮減寬度的省空間設計，結構緊湊，占用空間小；
11、整機鏡面不銹鋼機身，能耐酸堿，對工作環境無污染，鏡面機殼易于保養。
規格參數：
| 設備外觀尺寸： | 620mm（L）×760mm（W）×1600mm（H） | |
| 清洗盤規格： | 4-12英寸（可選） | |
| 清洗盤尺寸： | 定制 | |
| 純水入口徑： | 外徑Ø8mm純水軟管 | |
| 排水出口徑： | 3/4″軟管 | |
| 氣源入口徑： | Ø12mm PU氣管 | |
| 排風口口徑： | 2.5″皮管接頭（75mm外徑） | |
| 電源供應： | AC220V; 50HZ ;5A | |
| 總功率： | 1.5KW | |
| 耗電量： | 清洗時: 1.5kw/h | 待機時: 0.5kw/h |
| 氣源供應： | 0.45-0.7Mpa | |
| DI水供應： | ＞0.35Mpa | |
| 清洗壓力： | 3.8-8Kgf/cm² | |
| 離心轉速： | 100-2000R/Min | |
| 傳動馬力： | 1HP | |
| 純水消耗量： | 0-1000ML/Min | |
| 氣體消耗量： | 200-500L/Min | |
| 空氣過濾方式： | 一級0.01μm除油過濾器；二級0.01μm精密過濾器 | |
| 環境過濾方式： | 0.3μm；99.99% | |
| 機器凈重： | 約200KG | |
清洗機工藝
放入物料---一鍵清洗開始，安全門自動關閉---二流體清洗---離心脫水（去靜電離子風與加熱腔體輔助干燥)
---清洗完畢---報警提示---玻璃門自動打開。
采用高速離心設計，主要使用于4-12英寸的硅晶圓片的精密清洗；
搭配二流體清洗、靜電消除/氮氣、 高速離心等裝置，使被清洗件達到干燥、潔凈的目的。
附件下載：
長按屏幕識別二維碼
打開手機掃描二維碼
